MEMS振动传感器和压电振动传感器性能对比

1. 压电振动传感器和MEMS振动传感器的原理比较

   ----压电振动传感器的原理：其核心是压电材料（压电陶瓷，石英晶体），在传感器中，当压电陶瓷受到机械应力时，其内部会产生与应力大小成正比的电荷，经过放大转换为电压信号输出

   ----MEMS振动传感器的原理：基于微机电技术，通过微加工技术制造出微小的机械结构，质量块，梁等结构，在振动的环境中，质量块的振动会带来振动位移，该位移的变化在微电路中转换为压阻的变化，这个变化的压阻可以输出相应的电压信号。

以上可以看出：压电振动传感器实际上是在“发电”产生电压，而MEMS振动传感器是通过微小位移的变化转换为电路中的电压变化实现振动信号输出。

2. 频响比较

压电振动传感器通常频响范围更宽，一般3Hz到50kHz

MEMS振动传感器频响范围 DC~10kHz， 电路响应一般要比石英陶瓷慢。

虽然MEMS的频段范围没有压电振动传感器的款， 但其低频响应性能要高于压电振动传感器，它甚至可以对直流进行相应。

3.振动测量范围

压电振动传感器的测量范围高，可以测到5000g甚至更高的冲击加速度值

MEMS振动传感器没有压电振动传感器的测量g值高，一般200g左右

4功耗

压电振动传感器的供电需要恒流源的电源供电，其功耗要高于MEMS振动传感器

基于以上特性比较，MEMS振动传感器基于其功耗低，低频响应好，尺寸小易于集成等特点，更适合于应用在中。